菲涅耳波带片是短波常用的光学元件，但其单焦特性阻碍了衍射和干涉术向短波的应用转移。针对此问题，本公司开发了不同功能的EUV和X射线光场调控元件，具备超分辨聚焦、涡旋、分束、移相等功能，特别适用于EUV和X射线波段的干涉传感和相干衍射成像等领域。
特点
适用EUV，软X射线以及硬X射线波段；
分辨率高；
可提供多种功能的元件，灵活性强；
可接受定制。
参数：
类型 | 工作尺寸/um | 最小特征/nm | 焦距/mm | 工作波长/nm | 光学功能 |
EUV-300-0.19 | 300 | 190 | 4.2222 | 13.5 | 超分辨 |
EUV-850-0.13 | 850 | 130 | 8.1852 | 13.5 | 涡旋 |
EUV-450-0.22 | 450 | 220 | 7.3333 | 13.5 | 分束 |
EUV-450-0.22 | 450 | 220 | 7.3333 | 13.5 | 移相 |
EUV其它参数可接受定制。 | |||||
softX-300-30 | 300 | 30 | 3.2143 | 2.8 | 超分辨 |
softX-400-35 | 400 | 35 | 5 | 2.8 | 涡旋 |
softX-500-40 | 500 | 40 | 7.1429 | 2.8 | 分束 |
softX-600-50 | 600 | 50 | 10.7143 | 2.8 | 移相 |
Soft X-ray其它参数可接受定制。 | |||||
hardX-200-30 | 200 | 30 | 48.3871 | 0.124 | 超分辨 |
hardX-300-40 | 300 | 40 | 96.7742 | 0.124 | 涡旋 |
hardX-400-45 | 400 | 45 | 145.1613 | 0.124 | 分束 |
hardX-500-50 | 500 | 50 | 201.6129 | 0.124 | 移相 |
Hard X-ray其它参数可接受定制。 | |||||
菲涅耳波带片是短波常用的光学元件，但其单焦特性阻碍了衍射和干涉术向短波的应用转移。针对此问题，本公司开发了不同功能的EUV和X射线光场调控元件，具备超分辨聚焦、涡旋、分束、移相等功能，特别适用于EUV和X射线波段的干涉传感和相干衍射成像等领域。
特点
适用EUV，软X射线以及硬X射线波段；
分辨率高；
可提供多种功能的元件，灵活性强；
可接受定制。
参数：
类型 | 工作尺寸/um | 最小特征/nm | 焦距/mm | 工作波长/nm | 光学功能 |
EUV-300-0.19 | 300 | 190 | 4.2222 | 13.5 | 超分辨 |
EUV-850-0.13 | 850 | 130 | 8.1852 | 13.5 | 涡旋 |
EUV-450-0.22 | 450 | 220 | 7.3333 | 13.5 | 分束 |
EUV-450-0.22 | 450 | 220 | 7.3333 | 13.5 | 移相 |
EUV其它参数可接受定制。 | |||||
softX-300-30 | 300 | 30 | 3.2143 | 2.8 | 超分辨 |
softX-400-35 | 400 | 35 | 5 | 2.8 | 涡旋 |
softX-500-40 | 500 | 40 | 7.1429 | 2.8 | 分束 |
softX-600-50 | 600 | 50 | 10.7143 | 2.8 | 移相 |
Soft X-ray其它参数可接受定制。 | |||||
hardX-200-30 | 200 | 30 | 48.3871 | 0.124 | 超分辨 |
hardX-300-40 | 300 | 40 | 96.7742 | 0.124 | 涡旋 |
hardX-400-45 | 400 | 45 | 145.1613 | 0.124 | 分束 |
hardX-500-50 | 500 | 50 | 201.6129 | 0.124 | 移相 |
Hard X-ray其它参数可接受定制。 | |||||
